特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，高纯气特种气体，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体特种气体主要是氟基气体，包括四---碳、四---碳/氧气、六---硫、---乙1烷/氧气、三---氮等。

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